文章摘要:因为发散角和线宽效应的存在，非平行光束入射窄带通滤光片时，滤光片的透射特性会发生变化。特别是在斜入射时，窄带滤光膜透射通带波形更易从矩形向三角形退化，并且伴随峰值透过率降低等负面现象。虽然已知的卷积模型可以对非平行光束入射窄带滤光片的情况进行数值模拟，可是由于制备和测量误差的阻碍，其正确性和数值模拟的准确性没有严格的实验进行验证。本文通过膜系优化和测量误差修正降低相应误差及其影响，并通过等离子体辅助反应磁控溅射 （PARMS） 的方法制备了工作角度为17°的1064nm高性能窄带滤光片。滤光片的透射光谱分别由两款分光光度计Cary 7000和Lambda 1050测量得到。在不同条件下测得的光谱与数值模拟结果吻合很好，充分验证了卷积模型的有效性和数值模拟的准确性。

文章关键词:

论文分类号:TH74

文章来源：《分析仪器》 网址: http://www.fxyqzz.cn/qikandaodu/2022/0101/544.html

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